使用各种泵将真空容器内部抽真空后，能够达到何种程度的真空度呢？如果无法确切知道达到多少帕斯卡，则无法进行干式处理。为了达到这一目的，需要使用各种真空计。
当前使用的主要真空计的工作原理和测量范围如【表1】所示。从表中可以看出，1台真空计无法测量105～10-10的宽压力范围。因此需要组合使用与测量范围相对应的各种真空计。
表1.各种真空计的工作原理与测量范围
[1] 是将托里拆利的测量原理直接应用于真空计。由于液柱的读数极限约为1mm，因此在使用水银液柱时，测量极限约为133Pa（1Torr）。如果使用比重为1的硅油等液体，则为133/13.6≒10，可以测量到10Pa左右。
[2] 的波登管真空计原理与常规的压力表相同，真空计的指针会根据波登管的位移而移动。隔膜真空计的压力表中有一个由金属、有机材料、石英、玻璃等制成的隔膜，将内部分隔开，其中一个腔室与真空容器相连，另一个腔室中安装电极并保持高真空。当真空容器内的真空度升高时，隔膜会向容器侧位移，可通过机械或电气手段捕捉该变化以测量真空度。
[3] [4] [5] [6] 随着真空度的增加，测量方法也变得愈加复杂。
上述真空计都是测量真空容器内的整体压力，称为“总压计”，还有一种是测量特定气体压力的“分压计”。例如，当残留气体中的特定气体会对薄膜的性能产生重大影响时，必须知道其分压。
